|
|
ІВ201314
Dziuban, Jan A..
Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów [Text] / J. A. Dziuban. - Wrocław : Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2002. - 345 s.: rys. - Бібліогр.: s.341-345. - ISBN 83-7085-634-9Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Видання зберігається у :
|
|