|
|
ІВ205044
Zubel, Irena.
Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metodą trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice [Text] / I. Zubel. - Wrocław : Oficyna wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2004. - 200 s.: rys., tab. - Бібліогр.: S. 188-200. - ISBN 83-7085-823-6Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Видання зберігається у :
|
|