|
|
MFI3860/1-2
Ziebart, Volker.
Mechanical properties of CMOS thin films [Text] : diss. / V. Ziebart ; Swiss Federal institute of technology Zürich. - Zürich : [б.в.], 1999. - 146 p.: fig. - (Diss ETH ; 13457)
2 mfisheРубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Swiss Federal institute of technology Zürich
Видання зберігається у :
|
|