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ІВ196284
Kirchhoff, Volker.
Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung [Text] : Diss. / V. Kirchhoff ; Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg. Fak. für Naturwiss. - Magdeburg : [б.в.], 1997. - 87 S.: Abb. - Бібліогр.: S.: 79-87Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
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Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg. Fak. für Naturwiss.
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