ІВ196521
Neuffer, Andreas.
Diagnostik und Modellierung einer planaren Magnetron-Sputterquelle [Text] : Diss. / A. Neuffer ; Universität Stuttgart. Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik. - Stuttgart : [б.в.], 1999. - 113 S.: Abb. - Бібліогр.: S.: 107-111

Рубрикатор НБУВ:
 В333.11 
 Ж624 
Тематичні рубрики:
 Генератори (джерела) і прискорювачі плазми 
 Плазмова обробка 


Дод. точки доступу:
Universität Stuttgart. Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik

Видання зберігається у :