MFI3341/1-2
Bose, Abhijit.
Diagnostics and control of plasma etching for semiconductor manufacturing [Text] : diss. / A. Bose ; Swiss Federal Institute of technology Zürich. - Zürich : [б.в.], 1995. - 136 p.: fig. - (Diss.ETH ; 11224)
2 mfishe

Рубрикатор НБУВ:
 В333.15,022 
Тематичні рубрики:
 Дисертації < Діагностика плазми > 


Дод. точки доступу:
Swiss Federal Institute of technology Zürich

Видання зберігається у :