ДС66206
Халед Ибрагим Мохаммад Аль Шебуль
Разработка и исследование технологического процесса лазерного разделения полупроводниковых пластин на элементы [Текст] : дис... канд. техн. наук: 05.03.07 / Национальный технический ун-т Украины "Киевский политехнический ин-т" ; Национальный технический университет Украины "Киевский политехнический институт" (Киев). - К., 2000. - 130 л. - л. 121-130

Рубрикатор НБУВ:
 Ж68 
 Ж613 
Тематичні рубрики:


Дод. точки доступу:
Национальный технический университет Украины "Киевский политехнический институт" (Киев)

Видання зберігається у :
Основний фонд