ДС66866
Даниленко, Світлана Григорівна.
Розробка травильних композицій та технологічних процесів формування полірованих поверхонь підкладок арсеніду та антимоніду індію для приладів ІЧ-техніки [Текст] : дис... канд. техн. наук: 05.27.06 / Даниленко Світлана Григорівна ; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників. - К., 2000. - 198 арк. - арк. 175-186

Рубрикатор НБУВ:
Тематичні рубрики:


Дод. точки доступу:
Національна академія наук України; Інститут фізики напівпровідників (Київ)

Видання зберігається у :
Основний фонд