ДС92585
Замулко, Сергій Олександрович.
Формування силіцидних фаз при реакційній дифузії в системах "плівкові шари (5-30 нм) Ni, Ti - монокристалічний кремній" [Текст] : дис... канд. техн. наук: 05.16.01 / Замулко Сергій Олександрович ; Національний технічний ун-т України "Київський політехнічний ін-т". - К., 2006. - 221 арк. - арк. 194-204

Рубрикатор НБУВ:
Тематичні рубрики:


Дод. точки доступу:
Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут" (Київ)

Видання зберігається у :
Основний фонд