|
ДС92585 Замулко, Сергій Олександрович. Формування силіцидних фаз при реакційній дифузії в системах "плівкові шари (5-30 нм) Ni, Ti - монокристалічний кремній" [Текст] : дис... канд. техн. наук: 05.16.01 / Замулко Сергій Олександрович ; Національний технічний ун-т України "Київський політехнічний ін-т". - К., 2006. - 221 арк. - арк. 194-204Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут" (Київ)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|