|
|
ДС88013
Кляхина, Наталья Афанасьевна.
Формирование структуры и физических свойств нитридных пленок, полученных методами реактивного распыления на подложках Si, Ni, Ti, Ta, Mo и W [Текст] : дис... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Кляхина Наталья Афанасьевна ; Донецкий национальный ун-т. - Донецк, 2004. - 169 л.: рис. - Библиогр.: л. 156-169Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Донецкий национальный университет
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|