Р79243

Модель радиационно-диффузионного уплотнения пленок, осаждаемых из низкоэнергетических ионно-атомных потоков [Текст] / С. Н. Слепцов [и др.] ; "Харківський фізико-технічний інститут", національний науковий центр. - Х. : [б.в.], 1995. - 20 с. - (Препр. / "Харьковский физико-технический ин-т", Национальный научный центр, 95-15)

Рубрикатор НБУВ:
Тематичні рубрики:


Дод. точки доступу:
Слепцов, Сергей Николаевич; Бакай, Александр Степанович; Жуков, Александр Иванович; Марченко, Иван Григорьевич; Слепцов, Алексей Николаевич; "Харківський фізико-технічний інститут", національний науковий центр; "Харьковский физико-технический институт", Национальный научный центр; 95-15

Видання зберігається у :
Основний фонд