|
Р80385 Новиков, Ю. А.. Измерение диаметра электронного зонда РЭМ, ПРЭМ и электронных литографов [Текст] / Ю. А. Новиков [и др]. - М. : [б.в.], 1995. - 23 с. - (Препр. / РАН, Институт общей физики. Физика твердого тела. Отдел колебаний ; n19)Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу: Раков, А. В.; Стеколин, И. Ю.; РАН; Институт общей физики. Физика твердого тела. Отдел колебаний
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|