|
|
ВА561670
Соколов, Игорь Александрович.
Расчеты процессов полупроводниковой технологии [Текст] : учеб. пособие для студ., обуч. по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электронной техники" / И. А. Соколов. - М. : Металлургия, 1994. - 176 с. - ISBN 5-229-01063-0Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|