|
|
ДС44872
Макогон, Юрий Николаевич.
Формирование фазового состава, структуры и свойств тонких пленок силицидов переходных металлов на кремнии [Текст] : дис...д-ра техн.наук:01.04.07 / Макогон Юрий Николаевич ; КПИ. - К., 1993. - 355 л. - л.:330-355Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
КПИ
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|