|
|
РА319978
 Оксанич, Анатолій Петрович.
Методи та апаратура контролю структурно-геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів та структур в умовах їх серійного виробництва [Текст] : автореф. дис... д-ра техн. наук: 05.27.06 / Оксанич Анатолій Петрович ; Харківський національний ун-т радіоелектроніки. - Х., 2002. - 34 с.Рубрикатор НБУВ: Тематичні рубрики:
Дод. точки доступу:
Харківський національний університет радіоелектроніки
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|