Реєстрація
Користувач
Пароль
 

Каталоги бібліотек установ Національної академії наук України

Бази даних


Інститут біохімії імені О. В. Палладіна - результати пошуку


Mozilla Firefox Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер
"Mozilla Firefox"

Вид пошуку
 Знайдено в інших БД:Інститут електродинаміки (2)
Формат представлення знайдених документів:
повнийстислий
Пошуковий запит: (<.>S=МІКРОЕЛЕКТРОНІКА$<.>+<.>S=ПРИСТРОЇ$<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1
1.

Готра, Зенон Юрьевич.
Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : рис., табл. - Лит.: с. 526. - ISBN 5-256-00699-1 : Б. ц.
Рубрики: Мікроелектроніка--Пристрої--Довідкові видання

Кл.слова: монокристаллические материалы -- монокристалічні матеріали -- кристаллы полупроводниковых материалов -- кристали напівпровідникових матеріалів -- полупроводниковые подложки -- напівпровідникові підкладки -- диффузия -- дифузія -- технология эпитаксальных слоев -- технологія епітаксальних шарів -- ионная имплантация -- іонна імплантація -- технология тонких пленок -- технологія тонких плівок -- фотошаблоны -- фотошаблони -- литографические процессы -- літографічні процеси -- сборка микроэлектронных устройств -- складання мікроелектронних пристроїв -- герметизация микроэлектронных устройств -- герметизація мікроелектронних пристроїв
Анотація: Механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств.
 
Інститут біохімії імені О. В. Палладіна

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського