Формирование структуры и физических свойств нитридных пленок, полученных методами реактивного распыления на подложках Si, Ni, Ti, Ta, Mo и W : дис... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Кляхина Наталья Афанасьевна ; Донецкий национальный ун-т. - Донецк, 2004.. - 169 л.: рис.. - Библиогр.: л. 156-169 ------------ Дод. точки доступу: Донецкий национальный университет