У цьому сенсорі використано триангуляційний метод вимірювання переміщень. Розроблено метод калібровки сенсора шляхом вимірювання відстаней з використанням інтерферометрії. Дослідження лінійності та роздільної здатності сенсора виконані для різних наборів параметрів приймально-передавальної головки сенсора. Точність вимірювання переміщень залежить від параметрів пучка, освітлюючого змішувану поверхню, параметрів позиційно-чутливого детектора та від відношення сигнал-шум для аналогового сигналу вимірювального пристрою. Наведено також результати дослідження похибок, обумовлених зміщенням направляючих верстата.