Індекс рубрикатора НБУВ: К663.6-18

Рубрики:

Інші види покриттів металів

Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Індекс рубрикатора НБУВ: К663.6-18

Рубрики:

Інші види покриттів металів

Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Покриття Hf - C - N та V - C - N наносили на кремнієві (100) і сталеві (AISI 8620) підкладки реактивним магнетронним розпиленням з мішеней гафнію, ванадію та вуглецю в реакційній атмосфері азоту з негативною напругою зміщення -50 В. Вплив елементів Hf та V на кристалічну структуру, хімічний склад і механічні властивості спостерігали за допомогою рентгенівської дифракції, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, інфрачервоної спектроскопії з перетворенням Фур'є, комп'ютерного моделювання, атомно-силової мікроскопії, скануючої електронної мікроскопії, наноіндентування, прикріплення на диску і скрэтч-теста. Результати показали, що зразки мали постійне стехіометричне співвідношення, демонструючи структурні характеристики, дуже схожі на характеристики структур, що одержані комп'ютерним моделюванням. Зміна механічних властивостей заміщенням елемента Hf на V може збільшити твердість від 22 до 24 ГПа і модуль пружності з 235 до 246 ГПа. Для трибологічних властивостей було виявлено зміни для коефіцієнта тертя від 0,49 до 0,42 і для критичного навантаження від 21 до 25 H. Тож вплив умов осадження на структуру та властивості покриттів було пов'язано з відмінностями у вмісті гафнію й ванадію в потрійних покриттях. Тому покриття Hf - C - N та V - C - N можуть використовуватися у майбутньому як матеріали твердого покриття.

Покриття Hf - C - N та V - C - N наносили на кремнієві (100) і сталеві (AISI 8620) підкладки реактивним магнетронним розпиленням з мішеней гафнію, ванадію та вуглецю в реакційній атмосфері азоту з негативною напругою зміщення -50 В. Вплив елементів Hf та V на кристалічну структуру, хімічний склад і механічні властивості спостерігали за допомогою рентгенівської дифракції, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, інфрачервоної спектроскопії з перетворенням Фур'є, комп'ютерного моделювання, атомно-силової мікроскопії, скануючої електронної мікроскопії, наноіндентування, прикріплення на диску і скрэтч-теста. Результати показали, що зразки мали постійне стехіометричне співвідношення, демонструючи структурні характеристики, дуже схожі на характеристики структур, що одержані комп'ютерним моделюванням. Зміна механічних властивостей заміщенням елемента Hf на V може збільшити твердість від 22 до 24 ГПа і модуль пружності з 235 до 246 ГПа. Для трибологічних властивостей було виявлено зміни для коефіцієнта тертя від 0,49 до 0,42 і для критичного навантаження від 21 до 25 H. Тож вплив умов осадження на структуру та властивості покриттів було пов'язано з відмінностями у вмісті гафнію й ванадію в потрійних покриттях. Тому покриття Hf - C - N та V - C - N можуть використовуватися у майбутньому як матеріали твердого покриття.