Butariev K. O. Influence of annealing on the formation and the kinetics of oxidation the interface silicide/Si(001) / K. O. Butariev, I. F. Koval, Yu. A. Len, M. G. Nakhodkin // Вісн. Київ. нац. ун-ту. Сер. Фіз.-мат. науки. - 2012. - Вип. 4. - С. 239-242. - Бібліогр.: 8 назв. - англ.