Розглянуто особливості використання методів електрорушійної сили та струму Холла для дослідження процесів переносу вільних носіїв заряду в тонких струмопровідних каналах напівпровідникових гетероструктур. Запропоновано коректну методику визначення рухливості mu і концентрації GAMMA електронів двовимірного (2B) газу за умов, коли ефекти, пов'язані з квантуванням Ландау, проявляються у струмоперенесенні на макроскопічному рівні.

Досліджено механізми розсіяння електронів у розмірно-квантованих каналах МДН-структур на кремнії. Виходячи із співвідношення між транспортним і квантовим часами релаксації, зроблено висновок про превалювання розсіяння двовимірних електронів на кулонівських центрах. Одержані експериментальні значення транспортної рухливості зіставлено з розрахунковими, зробленими у борнівському наближенні. Показано, що узгодження експериментальних і розрахункових значень рухливості може бути досягнуте в разі врахування ефекту інтерференції електричних полів центрів розсіяння.

Описано автоматизовану установку для безконтактного контролю результатів технологічних обробок (ТО) напівпровідникових пластин і фізичні основи її функціонування. Можливості установки базуються на вимірюваннях зарядового стану поверхні за допомогою методу контактної різниці потенціалів і дозволяють вимірювати величину дифузійної довжини неосновних носіїв заряду. На прикладі пластин кремнію, що пройшли технологічні етапи виробництва сонячних елементів, показано основні можливості установки та надано результати досліджень, що характеризують якість ТО.

Запропоновано новий метод формування тонких заряджених діелектричних плівок аерогелю кремнезему на поверхні кремнію. Досліджено склад і зарядовий стан таких плівок. Оцінено товщину та ступінь поруватості синтезованих плівок. Показано можливість застосування таких плівок у напівпровідниковій мікроелектроніці, зокрема для створювання сонячних елементів і сенсорів.

Розглянуто основні вимоги до віртуальних симуляторів лабораторних робіт. Запропоновано способи відтворення експериментальних даних, що дозволяють створити високий ступінь подібності віртуальних вимірювань до роботи реального обладнання.

Запропоновано підхід до визначення рекомбінаційних параметрів з одного виміру у пластинах Si, таких як: швидкість поверхневої рекомбінації, "ефективний" і "об'ємний" час життя носіїв заряду. Метод ббазується на інжекції носіїв заряду шляхом імпульсної засвітки локальної області світлом з області фундаментального поглинання напівпровідника та вимірювання часової залежності зміни концентрації нерівноважних носіїв заряду. Метод тестовано за виробничих умов на технологічних пластинах кремнію і може використовуватись для якісного контролю у процесі виготовлення сонячних елементів.

Проаналізовано вимоги, що висуваються до електронного лабораторного практикуму, запропоновано шляхи його створення. З'ясовано особливості дистанційно виконуваних лабораторних робіт і віртуальних симуляторів з урахуванням умов реалізації діяльнісного підходу в навчанні. Основну увагу приділено розробці програмного забезпечення й алгоритмів вимірювань у віртуальних симуляторах.

Проанализированы требования, предъявляемые к электронному лабораторному практикуму, предложены пути его создания. Выяснены особенности дистанционно выполняемых лабораторных работ и виртуальных симуляторов с учетом условий реализации деятельностного подхода в обучении. Основное внимание уделено разработке программного обеспечения и алгоритмов измерений в виртуальных симуляторах.

The requirements and the ways of electronic laboratory practical work are analyzed. The features of remotely performed laboratory work and virtual simulators based on the conditions of active approaches of learning are elucidated. The principal attention are paid to software development and measurement algorithms in virtual simulators.

Проаналізовано сучасні способи та засоби комп'ютерних технологій в освіті, що дозволяють кардинально підвищити ефективність роботи викладача та студента. Наведено приклади електронних навчальних матеріалів, створених в різних програмних середовищах. Надано відомості про системи управління навчанням, засоби виконання їх функцій, мережеві засоби комунікацій. Описано систему Moodle - модульне об'єктно-орієнтоване динамічне середовище для навчання, розглянуто властивості та характеристики її складових.

Розглянуто проблему створення міжуніверситетських центрів дистанційних лабораторних робіт з віддаленим доступом з метою об'єднання ресурсів на основі засобів комп'ютерної підтримки навчального процесу. Підкреслено, що для підвищення освітнього потенціалу дослідницьких університетів необхідне об'єднання їх навчальних і дослідницьких ресурсів. З'ясовано завдання, які стоять перед міжуніверситетським центром дистанційних лабораторних робіт. Визначено структуру центру та його взаємозв'язки з лабораторіями та користувачами. Охарактеризовано елементи створення мережених практикумів, розглянуто їх структуру та спосіб використання. Зосереджено увагу на змістовому наповненні центрів електронними лабораторними роботами.

Рассмотрена проблема создания межуниверситетских центров дистанционных лабораторных работ с отдаленным доступом с целью объединения ресурсов на основании средств компьютерной поддержки учебного процесса. Подчеркнуто, что для повышения образовательного потенциала исследовательских университетов необходимо объединение их обучающих и исследовательских ресурсов. Выяснены задания, которые стоят перед межуниверситетским центром дистанционных лабораторных работ. Определены структура центра и его взаимосвязи с лабораториями и пользователями. Охарактеризованы элементы создания сетевых практикумов, рассмотрены их структура и способ использования. Акцентировано внимание на смысловом наполнении центров электронными лабораторными работами.

The problem of creating inter-university centers, remote labs with remote access to pool resources on the basis of computer assisted learning process. Stressed that to enhance the educational potential of research universities is necessary to unite their teaching and research resources. Clarified the tasks that face the Inter-University Centre of remote labs. The structure of the center and its relationship with the laboratories and their users. Characterization of the elements of a network of workshops, discussed their structure and method of use. Accentuated semantic content Centers electronic labs.

Зазначено, що віртуальні лабораторні практикуми є важливим дидактичним засобом під час вивчення фізики, природничих та інженерних спеціальностей. Вони містять засоби симуляції фізичних процесів, з яких найефективнішим є поєднання анімації та відеознімання реальних експериментів. Описано віртуальні лабораторні роботи, що містять моделювання динаміки складних фізичних процесів та основні етапи їх створення.

Запропоновано розробку п'єзоелектричного датчика, призначеного для перетворення механічних коливань на електричний сигнал в аналоговій або цифровій формі. Особливостями датчика є його високі чутливість і лінійність перетворення в широкому динамічному діапазоні. Роботу датчика перевірено в лабораторних і польових умовах у складі макету комплексу накопичення й обробки інформації на базі міні комп'ютера, а також із віддаленим сервером. Розроблені алгоритми ідентифікації динамічних параметрів структур на підставі структурного аналізу в пасивному моніторингу, а також розпізнавання джерел механічних коливань із застосуванням представлення сигналів у вигляді вейвлетів. Показано можливості застосування датчика в системах охорони та для аналізу стану великогабаритних споруд.

Розглянуто принципи роботи, конструкції вузлів і систем сканувального електронного мікроскопа й особливості його експлуатації під час контролю якості у мікроелектронному виробництві. Наведено методи отримання і дослідження зображень жорстких поверхонь сонячних елементів зі сформованою текстурою, а також шарів інтегральних мікросхем, що одержані за допомогою електронного мікроскопа. Показано можливості мікроскопа з виявлення недоліків процесу формування текстури, а також проведення реверс-інжинірингу.