Розглянуто розподіл атомів металу, що дифундують у збіднений шар контакта Шотткі. Ці заряджені атоми впливають на висоту потенціального бар'єра, на величину ємності контакта, опір контакта та коефіцієнт неідеальності. Вплив на ці характеристики здійснюється через величину коефіцієнта дифузії. За певних доз опромінення характеристики контакта покращуються, за більших - контакт деградує.