Описано застосування фотограмметричного аналізу мікрофотографій, отриманих за допомогою сканувального електронного мікроскопа, для визначення розмірів тривимірних деталей на анізотропній поверхні. Досліджено поверхню спеченого карбіду (WC + TiC + Co) після електрохімічного шліфування та поверхню алмазної абразивної стрічки. Обробка стереопар, знятих під різними кутами нахилу поверхні, дозволила визначити стереометрію деталей, що утворяться після обробки за різних анодних поляризацій та натиску, і з'ясувати роль електрохімічного та механічного факторів. Подано спосіб умови зйомки й обробки мікрофотографій, необхідний для одержання високої точності вимірів.