Наведено результати техніко-економічного порівняння організації реакційно-ректифікаційного диспропорціювання трихлорсилану з несуміщеним каталітичним варіантом реалізації цього процесу. Показано, що суміщення хімічної реакції та процесу розділення істотно покращує техніко-економічні показники виробництва. Економічний ефект одержано за рахунок економії умовно-постійних витрат у собівартості продукції та зменшення рециркуляції трихлорсилану в технологічній схемі.

Рассмотрены плазменные технологии и оборудование для получения из моносилана через жидкую фазу гранул кремния в одном аппарате. Показано, что какие-либо научно-технические ограничения на практическую реализацию технологии отсутствуют. Получены экспериментальное подтверждение и адекватное математическое описание процессов плазмохимического пиролиза моносилана, кондесации паров кремния в расплав, образование гарнисажа и переход пленочного течения в капельное, что позволяет осуществлять инженерную разработку пилотной установки на производительность 100 кг/час.