Простий пошук
|
Розширений пошук
|
Алфавітні покажчики
|
Бази даних
Реферативна база даних - результати пошуку
Віртуальна довідкаТематичний інтернет-навігаторНаукова електронна бібліотекаАвтореферати дисертаційРеферативна база данихКнижкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані видання
 |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
| Сортувати знайдені документи за: | ||
| автором | назвою | роком видання |
| Формат представлення знайдених документів: | ||
| повний | стислий | |
Пошуковий запит: (<.>U=З844.151$<.>) | |||
|
Загальна кількість знайдених документів : 2 Представлено документи з 1 до 2 |
|||
| 1. | Новосядлий С. П. Джерела іонів для формування шаруватих структур ВІС / С. П. Новосядлий, В. М. Бережанський // Прикарпат. вісн. НТШ. Сер. Число. - 2008. - № 1. - С. 151-158. - Бібліогр.: 4 назв. - укp. Наведено характеристики та параметри іонних застосування в іонно-променевому та реактивному іонно-променевому методах осадження і травлення шаруватих структур ВІС іонних джерел, які стають особливо актуальними як в субмікронній, так і нанотехнології. Показано принципову можливість управління такими параметрами, як енергія іонів, густина струму, склад іонного пучка, однорідність та анізотропність процесів осадження та травлення. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.151 Рубрики: Шифр НБУВ: Ж73616 Пошук видання у каталогах НБУВ | ||
| 2. | Новосядлий С. П. Технологічні особливості сухої вакуумної літографії для формування субмікронних структур BIC / С. П. Новосядлий, Р. Б. Атаманюк, Т. Р. Сорохтей, Л. В. Мельник, Ю. В. Возняк // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - 13, № 1. - С. 273-278. - Бібліогр.: 5 назв. - укp.
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ | ||
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського