Рассмотрены устройства и технологии для получения тонких пленок и покрытий, особенности модификации их и поверхностных слоев материалов корпускулярным воздействием и светом. Описаны структура и свойства тонких пленок и покрытий, их зависимость от режимов осаждения и обработки. Освещены проблемы применения вакуума в исследовательских и прикладных целях, проблемы исследования и контроля параметров вакуумных систем, а также проблемы получения вакуума.

Описан экспериментальный стенд исследования вакуумных агрегатов на базе жидкостно-кольцевых машин с предвключенным воздушным эжектором. Приведены варианты компоновки основных элементов проточной части воздушного эжектора. Показана необходимость получения методики согласования характеристик компонентов вакуумного агрегата. Определены основные задачи исследований и пути их реализации.

Висвітлено газові закони, а саме: розкрито поняття про вакуум, наведено рівняння станів ідеального та реального газів, встановлено відмінності між газом і парою. Розглянуто елементи молекулярно-кінетичної теорії газів. Охарактеризовано фізичні процеси у вакуумі - дифузію, ефузію, в'язкість, теплопровідність газів і теплопередачу від нагрітих поверхонь. Розглянуто електричний струм і сорбційні явища у вакуумі. Приділено увагу протіканню газів через конструктивні елементи вакуумних установок. Описано механічні методи одержання вакууму. Розглянуто поглинальні насоси (кріогені й адсорбційні).

Індекс рубрикатора НБУВ: Ж618

Рубрики:

Вакуумні технології

Шифр НБУВ: Ж25189 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Handling tasks which require the gripping across the board extensive and spatially segmented object manipulation (OM) require a specific approach to the design of a suitable gripping effector. This paper describes the individual partial tasks that the designer or engineer must to handle in order to be satisfied with manipulation task the required level of safety and repeatability. Also points out possible solutions to efficient use of compressed air to develop of vacuum.