Описано основні фізичні явища за дії на твердотільні об'єкти сконцентрованих електронних та іонних пучків. Розкрито особливості процесу гальмування швидких електронів та іонів за матеріалом мішені та аналізом вторинних часток, які емітуються з оброблюваних речовин. Розглянуто основні електротехнічні процеси та сучасні методи аналізу, які грунтуються на використанні корпускулярних потоків.