Досліджено закономірності зміни структурних, електричних і оптичних властивостей плівок ZnO внаслідок варіювання умов осадження, легування донорними домішками та післяростового відпалу. Встановлено покращення структурної досконалості плівок. Показано, що застосування гомоепітаксійного буферного шару ZnO між підкладкою та основою плівкою призводить до зменшення напруг у плівці та до покращення її люмінесцентних властивостей. Виявлено, що наявність водню в плівках ZnO не впливає на їх структуру та морфологію поверхні, однак спричиняє значну зміну спектра люмінесценції - посилення інтенсивності екситонної емісії та ефективне пригнічення дефектної люмінесценції. На пракладі плівок ZnO проаналізовано переваги методу хімічного осадження з парової фази, застосування металоорганічних сполук як вихідних речовин та позитивний ефект використання плазмового розряду. Зазначено, що процес металоорганічного хімічного осадження з парової фази, підсилений плазмою, є перспективним для низькотемпературного вирощування плівок ZnO, а також використання їх як активного матеріалу в світловипромінюючих пристроях.

  Скачати повний текст