Розроблено методи та засоби покращання характеристик п'єзокерамічних сканерів для зондових наномікроскопів і створено конкурентоспроможні зразки таких виробів. Розроблено метод покращання позиціонування п'єзокерамічних сканерів за рахунок зменшення зв'язку між актуаторами, яке досягнуто завдяки розділенню актуаторів один від іншого, а також за рахунок застосування плоских пружних пластин, що мають різну жорсткість за координатами X і Y. Побудовано та досліджено математичні та комп'ютерні моделі трубчатого п'єзокерамічного сканера, п'єзокерамічного сканера на основі планарних біморфних п'єзоелементів та п'єзокерамічного сканеру на основі біморфного планарного камертону. Побудовано комп'ютерні моделі для візуалізації переміщень розроблених п'єзокерамічних сканерів. Для вирішення поставлених завдань використано методи розрахунку п'єзоелектричних матеріалів, теорії електричних ланцюгів, методи електромеханічних аналогій, проведено експериментальні дослідження та комп'ютерне моделювання.

  Скачати повний текст