Досліджено вплив еквідистантного й експоненційного згину атомних площин на формування просторового розподілу інтенсивності дифрагованого пучка й амплітудних залежностей за умов Х-променево акустичного резонансу. Визначено вплив параметрів ультразвукової хвилі, поверхневої релаксації напружень, експоненційного згину вхідної та вихідної поверхонь, еквідистантного згину атомних площин кристала та "потужності" мікродефектів у кремнії на розрізну здатність секційної топографії. Встановлено закономірності формування дифракційних зображень "сторчкової" крайової дислокації на секційних топограмах залежно від розташування її в палатці Бормана та під час дії зовнішніх чинників для випадків тонкого та товстого кристалів кремнію. Проаналізовано найбільш імовірних моделей дислокаційних петель (ковзних і призматичних), дислокаційних бар'єрів Ломера - Котрела в кремнію та досліджено особливості формування їх дифракційних зображень на секційних і проекційних топограмах з урахуванням анізотропії, розмірів, просторового розміщення, величини й орієнтації вектора Бюргерса.

  Скачати повний текст

Встановлено особливості формування муарових зображень, що виникають у де-формаційному полі, утвореному при дії одновимірних рядів локальних зосереджених навантажень на вихідну поверхню аналізатора LLL-інтерферометра для випадків їх орі-єнтації паралельно або перпендикулярно вектору дифракції. Показано, що фазовий му-ар є своєрідним зондом, за допомогою якого можна оцінити величину деформації окре-мих зосереджених навантажень зі зміни періодів муарових смуг, а також визначити ха-рактер зміни сумарного деформаційного поля. Встановлено, що між значеннями сумарного навантаження та середньої частоти існує кореляція, яка дає змогу встановити функціональний зв'язок між ними. Запропо-новано метод, який дозволяє пов'язати залежність середніх просторових частот енерге-тичних спектрів муарових зображень та сумарного навантаження. Розроблено нові підходи до аналізу муарових розподілів інтенсивності на основі методу енергетичного спектру Фур'є. Встановлена різна чутливість до характеру роз-поділу джерел деформацій у низько- та високочастотних діапазонах радіальних розпо-ділів енергетичних спектрів муарових зображень. Встановлено, що формування муарових смуг на деформаційному полі, утвореному окремими двома рядами із локальних зосереджених навантажень, орієнтованих парале-льно, перпендикулярно чи під кутом, має спільні та відмінні риси. Відмінні риси поля-гають у формування різних за періодом та формою систем муарових смуг поблизу ло-кальних зосереджених навантажень у рядах. Спільним є те, що при віддаленні від рядів формуються еліпсоподібні муарових смуг на результуючому деформаційному полі.^UThe peculiarities of the formation of moiré images, that occur in the deformation field formed by the action of one-dimensional rows of local concentrated forces on the output sur-face of the analyzer LLL-interferometer for cases of their orientation parallel or perpendicular to the diffraction vector, were established. It is shown that the phase moiré is a kind of probe, which can be used to estimate the magnitude of the deformation of individual concentrated loads according o the change of periods of moiré bands, as well as to determine changes in to-tal deformation field.It is established that there is a correlation between the values of total load and average frequency, which allows to establish a functional relationship between them. A method, that allows to find the dependence between average spatial frequencies of the energy spectra of moiré images and total load, is proposed.New approaches to the analysis of moiré intensity distributions, based on the Fourier en-ergy spectrum method, have been developed. Different sensitivity to the nature of deformation sources distribution in low- and high-frequency ranges of the radial distributions of the energy spectra of moiré images has been established.It is established that in the case of formation of moiré stripes on the deformation field, created by two separate rows of concentrated loads, oriented in parallel, perpendicularly or at an angle, it has common and different features. Different features are in the formation of vari-ous in period and shape moiré stripes systems near rows of concentrated loads. The common is that, elliptical moiré stripes are formed on the resulting deformation field at a distance from the rows.