Встановлено та пояснено електронно-польові властивості шаруватих структур на основі кремнію, як основи кремнієвих вістрійних емітерних матриць. Проведено експериментальне та теоретичне дослідження параметрів емісійного струму залежно від товщин бар'єрів і квантової ями. Виявлено залежність фізичних властивостей та електронну польову емісію (ЕПЕ) алмазо-подібної вуглецевої плівки (АПВ) від вмісту азоту в суміші газів у процесі PE CVD осадження, зокрема, спостережено немонотонну залежність роботи виходу електронів у вакуум та порогової напруги ЕПЕ від вмісту азоту. У випадку надтонких АПВ плівок (8 нм) експериментально виявлено явище резонансної польової емісії за умов появи квантової ями на межі розподілу АПВ плівка - вакуум.

  Скачати повний текст