Вивчено закономірності та механізми селективного зародження та росту різних структурно-фазових форм вакуумних конденсатів за умов стаціонарного нерівноважного переходу речовини у конденсований стан на прикладі деяких металів та вуглецю. Досліджено роль фізичних властивостей осаджуваних матеріалів та ступеня нерівноважності конденсації щодо проявів польової, структурної та фазової селективностей під час осадження речовини зі слабкопересичених парів, а також з високопересичених парів за безпосередньої дії плазми на ростову поверхню. Вивчено формування високопористих шарів різної "архітектури" та деяких фазових модифікацій вуглецю залежно від ступеня прояву певного виду селективності.

  Скачати повний текст