Досліджено вплив нанесеної на поверхню пірогенного кремнезему металоксидної фази на хімічні перетворення, що відбуваються у адсорбованих кремнійорганічних сполуках залежно від температури. Експериментально встановлено, що наявність на поверхні пірогенного кремнезему металоксидних наноструктур сприяє пониженню початкових температур деструкції зв'язку Si - C у вакуумі та виділенню метану в області 470 - 820 та 820 - 1170 К. Запропоновано механізми розриву зв'язку Si - C і виділення метану у вакуумі: за низьких температур даний процес відбувається за участю брьонстедівських кислотних центрів поверхні, а за високих температур утворення метану відбувається за радикальним механізмом. Доведено, що в окиснювальній атмосфері присутність оксидів металів на кремнеземній поверхні сприяє розриву силоксанового зв'язку, що призводить до часткової деполімеризації адсорбованого полідиметилсилоксану. Досліджено реакцію генсаметилдисилазану з поверхнею кремнезему, що містить титан- і ванадійоксидну фазу, а також встановлено, що хемосорбція гексаметилдисилазану на поверхні зразка з ванадійоксидним покриттям відбувається по вільних силанольних групах і з розривом зв'язку SiO - V. Зазначено, що енергії активації даного процесу досить близькі за значенням для всіх зразків, з чого слідує, що нанесена на поверхню кремнезему металоксидна фаза істотно не впливає на процес хемосорбції гексаметилдисилазану.

  Скачати повний текст