Розглянуто проблему визначення локальних неоднорідностей поверхні розсіяним оптичним випромінюванням і проблему використання форми хвильового фронту (ХФ) для тестування поверхні. Проведено модифікацію схеми реєстрації ХФ з метою покращання просторового розрізнення сенсора. Запропоновано використовувати для освітлення окремої ділянки поверхні сфокусований лазерний пучок, який після оптичного перетворення в схемі Фур'є оптики формує у площині сенсора сигнал, пропорційний спектру просторових частот неоднорідності поверхні. Проаналізовано та змодельовано за допомогою комп'ютера роботу сенсора хвильового фронту з виявлення локальних неоднорідностей поверхні, що відбиває світло. Досліджено перетворення ХФ світла, відбитого поверхнею з неоднорідностями. Розглянуто двоканальний сканер ХФ, який аналізує відбиту від тестового зразка хвилю в двох ортогональних лінійних полярізаціях, з метою поділу фазових зсувів, пов'язаних з неоднорідностями рельєфу та локальними змінами показника заломлення.

  Скачати повний текст