Наведено результати систематичних досліджень емісійних характеристик електророзрядної плазми високої щільності на основі атомів і моногалогенідів інертних газів з накачуванням поперечним і коронним розрядами. Установлено характеристики та механізм запалювання поперечного об'ємного розряду з допробійним іонізаційним розмноженням електронів, що відбуваються у сумішах інертних газів з галогенвмісними молекулами. Відзначено, що даному випадку плазма була достатньо однорідною, повністю заповнювала міжелектронний проміжок та випромінювала переважно за спектральними лініями атомів He і Ne й молекулярними смугами сірки. Визначено, що формування такого розряду відбувається за рахунок високошвидкісної іонізаційної хвилі. Зауважено, що плазма сильнострумового поперечного розряду у неоні є широкосмуговим джерелом випромінювання молекулярних іонів неону у спектральному діапазоні 200 - 400 нм. Розроблено й оптимізовано ряд ультрафіолетових (УФ) спонтанних джерел випромінювання на B - X переходах моногалогенідах Zr, Kr та Xe, які випромінюють у діапазоні 193 - 353 нм.

  Скачати повний текст

Розглянуто можливість створення оптимальних концентрацій дигалогенідів ртуті в робочих сумішах атмосферного тиску за рахунок дисипації енергії розряда, та дієздатність робочих сумішей ефективно працювати за частот повторення імпульсів накачки до 2 кГц.

  Скачати повний текст

Досліджено механізми структуризації термічної гетерогенної плазими, охарактеризовано два її види - термоемісійну, що складається з частинок та емітованих ними електронів і комплексну, в якій додатково містяться атоми присадки лужних металів, що легко іонізуються. Для опису даних видів термічної гетерогенної плазми створено дві оригінальтні теоретичні моделі: нейтралізованих зарядів (для термоемісійної) та нерівновагової іонізації (для комплексної). З'ясовано, що запропоновані моделі досить добре узгоджуються з експериментальними даними й дозволяють описувати далеку взаємодію конденсованих частинок і структуризацію термічної гетерогенної плазми. Проведено комп'ютерну симуляцію структурування частинок, виявлено збіг одержаних результатів з експериментальними даними. Побудовано математичну модель колективної взаємодії конденсованих частинок у термічній гетерогенній плазмі. На підставі вивчення результатів експерименту та комп'ютерного моделювання встановлено, що в гетерогенній термічній плазмі існує тенденція до утворення структурованих агломератів конденсованих частинок.

  Скачати повний текст

Теоретично досліджено властивості газових розрядів низького тиску (індукційних, на поверхневих хвилях (ПХ) та з пиловими частинками). Розроблено методи керування просторовими і просторово усередненими параметрами цих розрядів. Побудовано гідродинамічні моделі для плазмових стовпів, що підтримуються ПХ, які враховують перенос енергії електронами. Побудовано гідродинамічні та кінетичні теорії газових розрядів, які містять у своєму об'ємі пилові частинки. Установлено вплив цих частинок субмікронного та нанометрового розмірів на параметри плазми газових розрядів низького тиску. Показано, що у плазмі з негативними іонами сила захоплення пилових частинок негативними іонами може бути одного порядку з іншими силами, які діють на дані частинки.

  Скачати повний текст

Досліджено фізичні підходи щодо виокристання динамічних газорозрядних систем для розв'язання проблеми генерації стаціонарної сильно нерівноважної плазми. Проаналізовано особливості поведінки плазмових струмів у газі та плазми несамостійних розрядів, які підтримуються плазмовим потоком. Вивчено дугу в поперечному потоці газу та плазмово-рідинні системи на основі несамостійних розрядів. Виявлено особливості взаємодії плазмового струменя з нейтральним газом, що впливають на рівень рекомбінаційної нерівноважності плазми, а також механізми формування функції розподілу електронів за енергіями в плазмі несамостійного розряду. Розроблено й апробовано метод реалізації стаціонарної взаємодії плазми з рідкофазною речовиною, який збільшує селективність плазмохімічного впливу на речовину у порівнянні з відомими.

  Скачати повний текст

Вивчено основні плазмодинамічні й електрофізичні властивості плазмодинамічного підходу, які підтвердили висновки запропонованої теоретичної моделі магнетронного розряду. У межах модифікованої моделі С. Берга показано значний вплив поверхневої рухливості атомів у плівках осадження на характер перебігу процесу реактивного магнетронного напилення. Наведено результати дослідження емісійного оптичного спектра плазми циліндричного технологічного магнетрона оберненого типу та проаналізовано основні фізичні процеси, які визначають характер випромінення атомів у різноманітних режимах розряду: в режимі синтезу плівок титану та його бінарних сполук.

  Скачати повний текст