Вперше експериментально встановлено факт формування конусоподібних "новоутворень росту" на катоді магнетронного розряду . Визначено умови на поверхні, залежно від яких еволюція початкового мікровиступу призводить до розвитку конусів розпилення або до зростання конусоподібних новоутворень, висота яких перевищує початковий рівень поверхні. Виявлено кореляцію між змінами морфологічних властивостей і фізико-хімічного складу поверхні катоду та характеристиками розряду магнетронного типу. З'ясовано зворотній зв'язок між процесом установлення динамічної рівноваги мікротопографії катоду та змінами у складі газового середовища під час перехідного періоду дії розряду. Розроблено феноменологічну модель, яка описує фізичний механізм зародження та зростання конусоподібних новоутворень за умов значного градієнту електричного поля на поверхні катоду розпилювальної системи на основі магнетронного розряду (МРС). Досліджено кінетику плазмохімічних реакцій і формування перехідних шарів на поверхні дисперсних матеріалів у плазмових системах на основі магнетронного та дугового розрядів.

  Скачати повний текст