Досліджено перебудову станів домішки кисню у структурі кристалів кремнію під впливом їх теплового та радіаційного збудження. Доведено існування в кремнії неоднорідностей просторового розподілу даної домішки за субмікронних доз, за цього атоми кисню під дією тепла та радіації набувають додаткових колективних властивостей. Виявлено ефект терморадіаційної конденсації кисню на радіаційних дефектах за температур, коли його дифузія незначна. Проаналізовано механізми впливу домішок Sn і Pb на термо- та радіаційно-стимульовані трансформації стану кисню у кремнії. Виявлено утворення кількох нових акцепторних і донорних станів кисню у кремнії під час опромінення за температур повного відпалу усіх раніше невідомих електрично активних радіаційних дефектів.

  Скачати повний текст