Об'єкт дослідження – проектування технологічних процесів виготовлення мікроелектромеханічних акселерометрів. Мета роботи – підвищення ефективності автоматизованого проектування технологічних процесів виготовлення мікроелектромеханічних акселерометрів, шляхом зниження вартості і часу їх проектування та виготовлення, за рахунок розробки та удосконалення моделей, методів і програмного забезпечення. Методи дослідження: методи математичного та комп'ютерного моделювання, класифікації, обчислювального інтелекту, дискретного програмування, оптимізації, математичної логіки, теорії множин, теорії графів, чисельних методах, методах імітаційного моделювання, теорії алгоритмів, методах організації графічного діалогу побудови інтерфейсу користувача. Практичні результати – розроблені і удосконалені в дисертаційній роботі моделі та методи дозволили вирішити важливе наукове завдання підвищення ефективності автоматизованого проектування технологічних процесів виготовлення мікроелектромеханічних акселерометрів. Наукова новизна отриманих результатів полягає в тому, що вперше розроблено математичну модель визначення мікроелектромеханічного акселерометра-аналога, для якої формалізовано критерії часу і вартості виготовлення, маси та площі мікроелектромеханічних акселерометра та враховано функціонально-конструктивні обмеження, що дозволяє визначити найкращій варіант мікроелектромеханічного акселерометра-аналога для здійснення вибору типового технологічного процесу; вперше розроблено узагальнений метод автоматизованого проектування технологічних процесів виготовлення мікроелектромеханічного акселерометрів, який базується на двох часткових методах: вибору типових технологічних процесів і пошуку аналогів окремих елементів технологічного процесу, що дозволяє отримати ефективний технологічний процес за рахунок зниження вартості та часу виготовлення; удосконалено модель структурно-параметричного синтезу технологічного процесу виготовлення мікроелектромеханічних акселерометрів, яка, на відміну від відомих, шляхом вибору типового технологічного процесу, операцій і обладнання, дозволяє отримати структуру технологічного процесу і у випадку необхідності обрати більш ефективне технологічне обладнання; удосконалено метод вибору типових технологічних процесів виготовлення мікроелектромеханічних акселерометрів, який, на відміну від існуючих, на основі методів ієрархічної кластеризації та інтелектуального аналізу даних, який дозволяє визначити взаємозв'язок між функціонально-конструктивними показниками мікроелектромеханічного акселерометра-аналога і типовим технологічним процесом та знизити вартість і час на проектування. За результатами дисертаційної роботи отримано авторське свідоцтво на комп'ютерну програму № 65348 від 16.05.16 р. Результати дисертаційної роботи впроваджені на підприємстві ТОВ «Овен» та в учбовий процес Харківського національного університету радіоелектроніки, Запорізького національного технічного університету, Кременчуцького національного університету імені Михайла Остроградського. Отримані результати можуть бути використані для автоматизованого проектування технологічних процесів виготовлення мікроелектромеханічних акселерометрів з подальшим створенням технічної документації у вигляді маршрутної карти для їх виготовлення.^UThe object of research is a design of technological processes for the production of MEMS accelerometers. The purpose of the work is to increase the efficiency of the automated design of technological processes for the MEMS accelerometers production by reducing the cost and time of their design and production, through the development and improvement of mathematical models, methods and software. Research methods are: mathematical and computer modeling, methods of classification, computational intelligence, discrete programming, optimization, mathematical logic, set theory, graph theory, numerical methods, simulation methods, algorithm theory, methods for organizing a graphical dialog for constructing a user interface. Practical results – in the dissertation work models and methods are developed and improved, which have allowed to solve an important scientific task of increasing efficiency of the automated design of technological processes for the MEMS accelerometers production. The scientific novelty of the obtained results are the next: for the first time a mathematical model for determining of the MEMS accelerometer-analogs was developed, for which the criteria of production time and cost, and the MEMS accelerometer mass and area were formalized, and the functional-constructive constraints for MEMS accelerometer were taken into account, which allows to determine the best version of the MEMS accelerometer-analogue for the typical technological process choice; for the first time a generalized method for automated design of technological processes MEMS accelerometers production has been developed, which is based on two partial methods: the choice of typical technological processes and the search for analogues of technological process individual elements, which allows obtaining an efficient technological process by reducing the production cost and time; the model of structural-parametric synthesis of the technological process for MEMS accelerometers production is improved, which, unlike the known ones, by choosing the typical technological process, operations and equipment, allows obtaining the structure of the technological process and, if necessary, to choose more efficient technological equipment; the method of selecting typical technological process for MEMS accelerometers production is improved, which is different from existing methods by the fact it is based on methods of hierarchical clustering and data mining methods, and allows to determine the relationship between functional and constructive indicators of MEMS accelerometer-analogue and of a typical technological process and to reduce the designing cost and time. The results of the dissertation research are implemented to production process at enterprise OOO «Oven» and to education process at the Kharkiv National University of Radio Electronics, Zaporozhye National Technical University, Kremenchuk Mykhailo Ostrohradskyi National University. On the base of dissertation results the author's certificate for software No. 65348 dated 16.05.16 was received. The obtained results can be used for automated design of technological processes for MEMS accelerometers production with further obtain of technological documentation in the form of a route map.

Об'єкт – технологічний процес формування електричних міжз'єднань модулів електронної техніки. Мета – підвищення якості високощільних рознімних і нерознімних електричних міжз'єднань у багатошарових гнучких комутаційних структурах для модулів електронної техніки шляхом розробки технології формування цих з'єднань на основі досліджень фізико-технологічних параметрів гнучких комутаційних структур. Методи – методи скінченних елементів і розв'язання диференціальних рівнянь, теорії пружності та руйнування твердих тіл, математичного та комп'ютерного моделювання, регресійного аналізу та теорії факторного експерименту, теорії масового обслуговування, методи експериментальних досліджень. Результати – отримав подальший розвиток метод розрахунку матриці жорсткості скінчених елементів при відомому векторі зовнішніх сил, який дозволяє забезпечити розрахунок деформацій пружних елементів міжз'єднань, з метою забезпечення механічної міцності міжз'єднань та надтонких електронних компонентів; отримала подальший розвиток технологія електричних комутаційних елементів, що дозволило розробити конструкцію плаского з'єднувача для електронних пристроїв із нульовою силою вставки з пневматичним притисненням контактних елементів, який відрізняється від аналогів меншою вірогідністю виникнення дефектів, підвищеною щільністю розташування контактів та кількістю виводів; вперше за допомогою багатофакторного експерименту отримано модель впливу конструкційних параметрів плаского з'єднувача з нульовою силою вставки на перехідний опір, який виникає між з'єднувачем і шлейфом, що дозволило оптимізувати конструкцію з'єднувача за критерієм мінімізації перехідного опору; розроблено математичну модель технологічного процесу складання модулів електронної техніки на основі алюміній-поліімідних гнучких структур, що дозволяє виконувати оцінку надійності та стабільності технологічного процесу, визначати відсоток виходу придатних виробів, середній час виготовлення одного виробу, середню кількість зібраних виробів. Галузь застосування – електронне приладобудування^UThe object – the technological process of forming electrical interconnections of electronic equipment modules. The goal is to improve the quality of high-density detachable and non-detachable electrical interconnections in multilayer flexible commutative structures for electronic equipment modules by developing technology for the formation of these connections based on studies of physical and technological parameters of flexible commutative structures. Methods – finite element methods and solving differential equations, theories of elasticity and fracture of solids, mathematical and computer modelling, regression analysis and the theory of factorial experiment, queuing theory, methods of experimental research. Results – the method of calculating the stiffness matrix of finite elements with a known vector of external forces has been further developed, which allows to calculate the deformations of elastic elements of interconnections, in order to ensure the mechanical strength of interconnections and ultrathin electronic components; the technology of electrical switching elements was further developed, which allowed to develop the design of a flat connector for electronic devices with zero insertion force with pneumatic pressing of contact elements, which differs from analogues: less likely to cause defects, increased contact density and number of pins; for the first time, a multifactor experiment was used to get the influence model of the design parameters of a flat connector on the transient resistance that occurs between the connector and the loop, which allowed to optimize the design of the connector by minimizing the transient resistance; the mathematical model of the technological process of assembling electronic equipment modules has been improved based on aluminum-polyimide flexible commutative structures was proposed, which allows to evaluate the reliability and stability of the technological process, determine the percentage of suitable products, average manufacturing time of one product, average number of assembled products. Scope – electronics industries.

Об'єкт – технологічні процеси (ТП) виготовлення детекторних лінійок (ДЛ) для детекторних систем фізичних експериментів. Мета – створення високотехнологічних компонентів сенсорних систем детектування часток фізичних експериментів за рахунок розробки ТП виготовлення безадгезивних плівкових алюміній-поліімідних матеріалів та виробництва компонентів ДЛ. Методи - методи математичного та комп'ютерного моделювання; положення теорія пружності; положення теорії факторного експерименту. Результати – розроблено ТП виготовлення високотехнологічних багатокомпонентних кабелів живлення для ДЛ та безадгезивних алюміній-поліімідних матеріалів для їх компонентів, удосконалено конструктивно-технологічне забезпечення виготовлення детекторних модулів на основі новітніх MAPS сенсорів, що дозволило реалізувати надлегкі модулі з малою радіаційною довжиною; удосконалено модель вигину гнучкого двошарового матеріалу діелектрик-провідник, модель усадки компонентів (одношарових елементів комутації) ДЛ та модель впливу розмірів елементів в зоні міжелементного з'єднання, що дозволило визначити конструктивні обмеження при створенні компонентів ДЛ та матеріалів для їх виробництва; вперше розроблено ТП виготовлення тришарового безадгезивного матеріалу поліімід-алюміній-поліімід і ТП виготовлення гнучких компонентів з зазначеного матеріалу. Впровадження результатів – виробництво ДЛ та компонентів для зовнішніх MAPS детекторних шарів удосконаленої Внутрішньої трекової системи міжнародного експерименту ALICE на Великому Адронному Коллайдері у CERN.^UObject - technological processes (TP) of detector staves (DS) manufacture for sensor systems of physics experiments. Purpose – creating high-tech components of sensor systems for detecting particles of physics experiments by developing TP for manufacturing adhesiveless film aluminum-polyimide materials and producing components for DS. Methods - methods of mathematical and computer simulation; theory of elasticity; theory of factor experiment. Results - developed TP of manufacturing of high-tech multicomponent power buses for DS and adhesiveless aluminum-polyimide materials for their components, improved design and technological support for manufacturing detector modules on the basis of newest MAPS sensors, which allow to realize ultralight detector modules with low radiation length; improved model of flexible two-layer dielectric-conductor material, model of shrink of components (single-layer interconnection elements) of DS and model of influence of sizes of elements in the area of interconnection what allowed to determine design limitations at creation of DS components and materials for their production; for the first time developed TP of three-layered adhesiveless polyimide-aluminum-polyimide material and TP of manufacturing flexible components made of the mentioned material. Implementation of the results – production of DS and components for the outer MAPS detector layers of upgraded Inner Tracking System of international ALICE Experiment on Large Hadron Collider in CERN.