Вивчено процес утворення та росту дефектів під час ізотермічного розпаду твердого розчину кисню в кремнії, вирощеного методом Чохральського та досліджено вплив попереднього нейтронного опромінення, та прикладених зовнішніх механічних напружень до кристалу на кінетику даного процесу розпаду. Запропоновано методику експериментального визначення розподілу дефектів за розмірами та концентраціями. Одержано ділянки кривих розподілу, які відповідають можливостям рентгенівського виявлення локальних дефектів. Встановлено, що зростання кисневмісних преципітатів відбувається за рахунок протікання дифузійних процесів, а утворення дислокаційних петель пов'язано з процесами коагуляції занурених атомів кремнію та з видавлюванням петель напругами, що створюються навколо преципітатів. Виявлено, що прикладене до зразків стискаюче напруження під час ізотермічного відпалу прискорює розпад твердого розчину кисню в кремнії.

  Завантажити