Залежно від умов фазоутворення та механізму зростання плівки, обумовлених змінами характеру розподілу адатомів за енергіями, визначено три характерних режими роботи систем ІПР, які на практиці зручно розрізняти за значеннями параметра pd. Запропоновано механізм переносу розпиленої речовини на поверхню підкладки, що дозволяє за допомогою комп'ютерного моделювання одержувати дані про характеристики потоків атомів, які конденсуються, і здійснювати якісне прогнозування структури та властивостей одержаних плівок.

  Завантажити