Досліджено зміни мікропластичних властивостей приповерхневих шарів кристалів кремнію за дії різноманітних зовнішніх чинників (високотемпературної термообробки, металізації, збудженні електронної підсистеми). Уперше експериментально виявлено ряд нових ефектів (електропластичних), що виникають у кристалах кремнію у разі їх деформування з одночасним збудженням електронної підсистеми (як спосіб збудження використовувався електричний струм та електростатичне поле). Уперше виявлено магнітопластичний ефект - зміну мікропластичних властивостей приповерхневих шарів кристалів кремнію під дією постійного манітного поля. Експериментально підтверджено та розвинуто концепцію лазерного та ультразвукового керування процесами рухливості дислокацій у приповерхневих шарах кристалів кремнію. Відкрито та досліджено ефект "пам'яті" дислокаціями впливу електричного струму та фізичних полів (електричного, магнітного, пружно-електричного поля ультразвуку, електромагнітного поля лазерного випромінювання). Установлено, що пластичне деформування та електронне збудження здійснюють корельований вплив на фізичні параметри кристалів кремнію - мікропластичні, механічні, дифузійні, електрофізичні. Зазначено, що виявлена кореляція дозволяє розробляти нові методи керування фізичними параметрами кремнію і створює передумови для одержання конструкційних матеріалів з покращеними фізичними властивостями.

  Завантажити