Розв'язано задачу підвищення просторової роздільної здатності іонних мікрозондів з енергією від одного до 10 МеВ і струмом іонних мікрозондів з енергією від одного до 10 МеВ і струмом близько 100 пкА. Розглянуто процеси формування іонних зондів. Розвинуто модель, яка описує нелінійну динаміку пучка заряджених частинок у зондоформувальних системах магнітних і електростатичних квадрупольних лінз, ця модель враховує всі власні та паразитні аберації до третього порядку включно. Визначено межову роздільну здатність мультиплетів магнітних квадрупольних лінз з урахуванням паразитних компонент поля у наближенні рівномірного розподілу частинок пучка у почаковому фазовому об'ємі. Уперше розглянуто вплив збільшення кількості лінз на роздільну здатність. Визначено межово допустимі паразитні компоненти поля даних лінз, коли їх внесок до уширення пучків на мішені є значно меншим від впливу власних аберацій, що дозволило визначити вимоги стосовно допусків виготовлення магнітопроводів лінз. Уперше показано наявність оптимуму робочої відстані та відстані між прямокутними об'єктним і кутовим коліматорами, коли система формує пучок з максимальною густиною струму.

  Завантажити