Виявлено ефект формування структурних неоднорідностей в іонно-модифікованих АПП. Наведено фізичну модель ефекту значного збільшення твердості імплантованих плівок. Створено кремнієві шаруваті структури з прихованими мікрокристалітними шарами карбіду кремнію, розглянуто механізм стимулювального впливу домішки кисню на процес їх формування. Для гетерування рекомбінаційно-активних домішок і дефектів запропоновано використання плівки Ge з йонно-променевим перемішуванням або АПП, проаналізовано механізми дії таких гетерів.

  Завантажити